SuperViewW光学3D表面轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，从01nm级别的超光滑表面到数十微米级别的粗糙度表面，仪器均能实现高精度测量2三坐标测量机 MarsClassic三坐标是国。

精密仪器有经纬仪圆度仪轮廓仪气压计真空计等1经纬仪 经纬仪是一种根据测角原理设计的测量水平角和竖直角的测量仪器，分为光学经纬仪和电子经纬仪两种，最常用的是电子经纬仪2圆度仪 圆度仪Roundnes。

温度测量仪器分类1气体温度计多用氢气或氦气作测温物质，因为氢气和氦气的液化温度很低，接近于绝对零度，故它的测温范围很广这种温度计精确度很高，多用于精密测量2电阻温度计分为金属电阻温度计和半导体电阻温度计。

精密仪器是指用以产生测量精密量的设备和装置，包括对精密量的观察监视测定验证记录传输变换显示分析处理与控制对于用于测量的精密仪器而言，可将其结构分为基准感受转换转换放大传输瞄准读数数据。